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연합인증

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[한국특허] 웨이퍼 세정 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록실용신안
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/304
출원번호 20-1994-0014232 (1994-06-18)
공개번호 20-1996-0003089 (1996-01-22)
등록번호 20-0109662-0000 (1997-09-11)
DOI http://doi.org/10.8080/2019940014232
발명자 / 주소
  • 김학묵 / 경기도이천군신둔면용면리***
  • 서부길 / 경기도이천군부발읍아미리산***-*
  • 최재성 / 경기도성남시분당구이매동이매촌***-***
출원인 / 주소
  • 주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 신성 (Shinsung Patent Firm)
  • 서울 송파구 가락동**-*번지 **타워 ***호
심사청구여부 있음 (1994-06-18)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 고안은 순수 공급에 의한 와류를 억제하여 와류지역에 남아 있던 불순물이 웨이퍼에 재흡착되는 것을 방지하는 웨치퍼 세정장치에 관한 것으로, 상기 용기(1)의 내측면에 수평되게 그 양단이 고정된 다수의 지지수단(3); 상기 지지수단(3)의 하단 양측에 일체로 구비되며, 그 상측에 소정크기의 질소배출구(4a)가 다수 형성된 질소버블수단(4); 상기 용기(1)의 하단벽 일측에 구비되며, 외부로 부터 순수를 공급받아 상기 용기(1)내로 분출하는 적어도 하나 이상의 순수공급노즐(6)을 구비하여 순수공급에 따른 용기 내부기기의 부딪힘이나 웨

대표청구항

그 하단부 중앙에 드레인 홀(1a)이 형성된 용기(1)와, 상기 용기(1)내로 이동되는 웨이퍼 캐리어를 고정하는 소정크기의 캐리어고정용 가이드(5)와, 상기 용기(1)의 외측면 상단 소정위치에 일체로 경사지게 구비되며, 용액이 외부로 넘치는 것을 폐수처리할 수 있도록 그 일측면에 용액배출구(2a)가 형성된 보조용기(2)가 구비된 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 용기(1)의 내측면 소정위치에 소정간격으로 수평되게 그 양단이 각각 고정, 장착되어 상기 캐리어고정용 가이드(5)가 그 상측에 놓여지도록 하여 지지하는 다수의 지지수단(3);

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