최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 20-1996-0038421 (1996-11-05) |
공개번호 | 20-1998-0025596 (1998-08-05) |
등록번호 | 20-0161683-0000 (1999-09-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019960038421 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (1996-11-05) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 에칭챔버의 하부몸체내 수분 제거장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로논 하부 챔버내에서 온도차이로 인해 발생되는 수분을 효율적으로 제거하여 챔버내의 부품이 손상되지 않도록 한 것이다.이를 위해, 질소가스를 공급하는 질소가스 공급기(18)와, 일단이 질소가스 공급기와 연결되고 다른 일단이 하부 몸체(4)에 연결되어 상기 질소가스 공급기(18)에서 공급된 질소가스를 하부 몸체(4) 내부로 유입시켜 주는 질소가스 유입관(19)과, 상기 하부 몸체(4)에 연결되어 질소가스 유입관(19)을 통해 하부 몸체(4) 내부로 유입된 질소
질소가스를 공급하는 질소가스 공급기와, 일단이 질소가스 공급기와 연결되고 다른 일단이 하부 몸체에 연결되어 상기 질소가스 공급기에서 공급된 질소가스를 하부 몸체내로 유입시켜 주는 질소가스 유입관과, 상기 하부 몸체에 연결되어 질소가스 유입관을 통해 하부 몸체내로 유입된 질소가스를 배출시켜 주는 질소가스 배기관으로 구성됨을 특징으로 하는 에칭챔버의 하부 몸체내 수분 제거장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.