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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1997-0014180 (1997-06-13) |
공개번호 | 20-1999-0000818 (1999-01-15) |
등록번호 | 20-0177268-0000 (2000-01-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019970014180 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-06-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 석영 튜브의 세정장치에 관한 것으로, 종래에는 석영 튜브를 세정하기 위한 순수(DIW)와 불화수소산(HF)의 혼합이 제대로 이루어지지 않아 석영 튜브가 부분적으로 세정되어 세정공정 이후 히트 싸이클(heat cycle)에 대해 깨지거나 균열이 발생될 수 있으며 석영 튜브의 수명을 현저히 감소시키는 문제점이 있었던바, 본 고안의 석영 튜브의 세정장치는 다수개의 홀이 형성되어 유체가 출입가능한 원통형의 바스켓과, 이 바스켓을 회전시키도록 베스의 일측에 설치되는 구동부와, 이 구동부의 회전에 따라 회전하도록 베스의 타측과 바스
다수개의 홀이 형성되어 유체가 출입가능한 튜브 용기와, 석영 튜브를 세정하기 위한 액체가 담겨있는 베스와, 상기 튜브 용기를 상기 베스 내부로 이동시키는 이동부와, 상기 튜브 용기를 상기 이동부에 연결시키는 연결 고리와, 상기 베스의 일측에 설치되는 구동부와, 이 구동부의 구동에 따라 상기 튜브 용기를 회전시키도록 상기 구동부와 상기 튜브 용기의 일단을 연결하는 연결축과, 상기 연결축과 동일하게 회전하도록 상기 베스의 타측과 상기 튜브 용기의 일단을 연결하는 피구동부로 구성되는 것을 특징으로 하는 석영 튜브의 세정장치.
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