초록 ▼

본 고안은 반도체 제조장비의 핫플레이트 냉각장치에 관한 것으로, 종래에는 핫플레이트를 냉각시키기 위하여 대류열전달을 이용하거나 또는 별도의 냉각수를 이용하고 있으나, 대류열전달을 이용하는 방안은 냉각효과에 비해 소요시간이 지나치게 길어져 다양한 온도조건에 신속하게 대응할 수 없게 되는 한편, 별도의 냉각수를 공급하는 방안은 기존의 핫플레이트를 개조하여야 하는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 통상적인 오븐에 내장된 핫플레이트에 착탈되어 그 핫플레이트를 소정온도로 냉각시키는 쿨링플레이트와, 별도의 이송수단에 의해 핫플레이트로부터 이

본 고안은 반도체 제조장비의 핫플레이트 냉각장치에 관한 것으로, 종래에는 핫플레이트를 냉각시키기 위하여 대류열전달을 이용하거나 또는 별도의 냉각수를 이용하고 있으나, 대류열전달을 이용하는 방안은 냉각효과에 비해 소요시간이 지나치게 길어져 다양한 온도조건에 신속하게 대응할 수 없게 되는 한편, 별도의 냉각수를 공급하는 방안은 기존의 핫플레이트를 개조하여야 하는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 통상적인 오븐에 내장된 핫플레이트에 착탈되어 그 핫플레이트를 소정온도로 냉각시키는 쿨링플레이트와, 별도의 이송수단에 의해 핫플레이트로부터 이격되는 쿨링플레이트를 원래의 온도로 복원시키는 쿨링유니트로 구성함으로써, 상기 핫플레이트를 용이하면서도 신속하게 냉각시켜 기존의 핫플레이트를 개조하지 않고도 다양한 온도조건에 신속하게 대응하게 되어 생산성이 현저하게 향상되는 효과가 있다.

대표청구항

통상적인 오븐에 내장된 핫플레이트에 착탈되어 그 핫플레이트를 소정온도로 냉각시키는 쿨링플레이트와, 별도의 이송수단에 의해 핫플레이트로부터 이격되는 쿨링플레이트를 원래의 온도로 복원시키는 쿨링유니트로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 핫플레이트 냉각장치.

통상적인 오븐에 내장된 핫플레이트에 착탈되어 그 핫플레이트를 소정온도로 냉각시키는 쿨링플레이트와, 별도의 이송수단에 의해 핫플레이트로부터 이격되는 쿨링플레이트를 원래의 온도로 복원시키는 쿨링유니트로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 핫플레이트 냉각장치.