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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1998-0001449 (1998-02-09) |
공개번호 | 20-1999-0035783 (1999-09-15) |
등록번호 | 20-0195111-0000 (2000-06-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019980001449 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-02-09) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 스테퍼의 스테이지 위치보정장치에 관한 것으로, 종래 기술은 웨이퍼의 초점을 맞추기 위하여 틸트 스테이지(TILT STAGE)를 구동하면 바 미러에 기울기가 생기게 되어 계측상의 오차를 유발하는데, 이때 종래에는 바 미러의 편차를 감지할 수 있는 수단이 구비되어 있지 않으므로 웨이퍼의 노광 및 현상공정을 진행한 후 그 오차를 보정하여야 하는 바, 이에 본 고안은 빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분
빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분산시켜 주는 제 1빔 스플리터와, 그 제 1빔 스플리터에 의해 분리된 빔을 X 및 Y 각각의 레이저 간섭계로 보내는 X 및 Y 제 2빔 벤더와, 상기 각각의 레이저 간섭계로부터 빔을 전달받는 각각의 바 미러와, 그 각각의 바 미러에서 레이저 간섭계로 다시 반사된 빔을 각각의 리시버로 굴절시키는 제 2빔 스플리터와, 그 제 2빔 스플리터로부터 나온 빔을 감지하는 감지센서로
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