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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1999-0002517 (1999-02-19) |
공개번호 | 20-2000-0017181 (2000-09-25) |
등록번호 | 20-0365536-0000 (2004-10-12) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019990002517 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-02-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체 포토 공정에 사용되는 포토 공정 장비에 관한 것으로, 포토 공정이 실행되는 각 유닛이 원통형으로 구성된 트랙 시스템(60)을 포함하는 것에 의해, 웨이퍼의 이송 시간 및 로봇 아암(20)의 작동 반경을 최단거리로 단축할 수 있어, 작업 효율을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
반도체의 포토공정에 사용되는 포토공정 장비에 있어서,포토공정이 실행되는 각 유닛이 원통형으로 구성된 트랙 시스템(60)을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토공정 장비.
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