초록 ▼

고밀도 인쇄회로기판 가공용 필름포토레지스트 감광성고분자를 개발하는 본연구는 (1982~83) 에 걸쳐 수행되었다.
제1차년도에는 유기용제 현상형 필름포토레지스트의 실험실적 합성 및 배합과 화상형성에 따른 감광도 해상력에 대하여 주로 연구하였다. 제2차년도에는 1차년도에서 얻어진 연구 결과를 기초로 하여 실제적인 인쇄회로기판 가공측면에서 중점적으로 연구하였다.
제2차년도 연구내용은 다음과 같다.
가. 필름포토레지스트용 감광성 조성물의 합성과 배합에 따른 필름형성과 노광 및 현상에 의한 감광도와 해상력의 검토
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고밀도 인쇄회로기판 가공용 필름포토레지스트 감광성고분자를 개발하는 본연구는 (1982~83) 에 걸쳐 수행되었다.
제1차년도에는 유기용제 현상형 필름포토레지스트의 실험실적 합성 및 배합과 화상형성에 따른 감광도 해상력에 대하여 주로 연구하였다. 제2차년도에는 1차년도에서 얻어진 연구 결과를 기초로 하여 실제적인 인쇄회로기판 가공측면에서 중점적으로 연구하였다.
제2차년도 연구내용은 다음과 같다.
가. 필름포토레지스트용 감광성 조성물의 합성과 배합에 따른 필름형성과 노광 및 현상에 의한 감광도와 해상력의 검토
유기용제 현상형 및 수용액 현상형 필름포토레지스트의 감광조성물(결합제 고분자, 다관능성 아크릴산 에스테르, 광개시제, 광증감제, 감광증진제, 밀착촉진제, 열중합금지제, 가소제, 색소, 변색제 등)을 합성 배합하여 필름을 제막하고, 제조된 감광 필름에 대한 노광실험, 현상실험을 통하여 감광도 및 해상력을 검토하였다. 감광도와 해상력이 우수한 감광조성물과 함량을 결정하였다.
나. 감광성 필름의 변색 연구
자외선 노광에 의한 화상형성시에 노광부분이 짙게 변색되는 염료를 선택한다. 적당한 바탕 색소의 선택과 노광에 의한 변색제를 연구하였다. 이 변색현상은 인쇄회로기판 가공 작업시에 매우 유용한 성질이다.
다. 잔막화상(레지스트)의 물성시험
감광조성물을 배합하여 제조한 감광 필름을 노광 현상하여 만든 잔막화상 즉 레지스트박막에 대한 인쇄회로기판 가공시 각종 처리제 (산세척액, 부식액, 도금액)에 요구되는 내성을 시험하였다.
라. 필름포토레지스트 시제품 제조와 인쇄회로기판 가공실험
감광성조성물을 배합하여 필름포토레지스트 시제품을 제조하고 인쇄회로 기판 제조업체 (금성전기(주), 대덕전자(주), 한일써키트 등) 에서 실제 가공실험을 하여 필름포토레지스트의 물성과 적용성능을 검토하였다.

목차 Contents

• 제 1 장 서론...23
• 제 1 절 연구의 목적과 범위...23
• 제 2 절 필름포토레지스트...24
• 1. 인쇄회로기판 가공의 역사...24
• 2. 필름포토레지스트의 특징...25
• 3. 종류 및 제조회사...26
• 약어해설...28
• 제 2 장 실험...29
• 제 1 절 실험재료 및 기기...29
• 1. 실험재료...29
• 2. 시약...29
• 3. 실험기기...31
• 4. 감광도의 측정...34
• 5. 해상력 측정 및 잔막수율 측정...40
• 제 2 절 시판 필름포토레지스트의 분석...43
• 1. 유기용매 현상형 필름포토레지스트...43
• 2. 수용액 현상형 필름포토레지스트...44
• 제 3 절 결합제 고분자의 중합...47
• 1. 알카리 수용액 현상형...47
• 2. 유기용매 현상형...49
• 제 4 절 가공공정과 문제점의 해결...50
• 1. 구멍뚫기...50
• 2. 동도금...50
• 3. 기판세척...52
• 4. 라미네이션...52
• 5. 노광...54
• 6. 현상...57
• 7. 도금 및 처리과정...59
• 8. 수지제거...61
• 9. 도금 단면의 관찰...61
• 제 3 장 결과 및 고찰...63
• 제 1 절 유기용매 현상형 필름포토레지스트...63
• 1. 결합제 고분자...65
• 2. 광개시제...66
• 3. 소량 첨가물...75
• 제 2 절 알카리 수용액 현상형 필름포토레지스트...81
• 1. 특성...81
• 2. 결합제 고분자...81
• 3. 다관능성 모너머...82
• 4. 광개시제...89
• 5. 가소제의 첨가...92
• 6. TBM의 첨가...93
• 7. 감광도의 비교...95
• 제 3 절 자외선 조사에 의한 색의 변화...97
• 1. 색변화 조성물...98
• 2. 색변화의 반응...99
• 3. 시제품과의 비교...100
• 제 4 절 단면의 관찰...101
• 1. 납/주석 도금가공 시료...103
• 2. 에칭가공 시료...106
• 제 4 장 결론...108
• 1. 유기용매 현상형 필름포토레지스트...112
• 2. 알카리 수용액 현상형 필름포토레지스트...113
• 참고문헌...115