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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2005-0025831 (2005-09-07) |
등록번호 | 20-0401900-0000 (2005-11-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020050025831 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 틸트 플레이트의 3점을 지지하여 평면도(기울기)를 조절할 수 있도록 함과 동시에 각 지점에 일대일 대응하도록 거리센서를 설치하여 피대상물과의 거리를 측정하도록 함으로서 피대상물의 평면도에 따라 카메라가 설치된 틸트 플레이트의 평면도가 가변조절되어 정확한 측정/검사작업이 가능하고 고부하에 견딜 수 있으며 정밀한 조정이 가능한 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다.이에 본 고안은 일정한 형태의 베이스 플레이트(11); 상기
일정한 형태의 베이스 플레이트(11);상기 베이스 플레이트(11)의 상측으로 일정간격 이격되어 설치되는 틸트 플레이트(20);상기 베이스 플레이트(11)와 틸트 플레이트(20)의 사이에서 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하도록 설치되어 틸트 플레이트(20)의 기울기를 조절하는 기울기조절수단(30)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치.
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