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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2006-0023699 (2006-09-04) |
등록번호 | 20-0432208-0000 (2006-11-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020060023699 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 진공배관 라인용 파우더 제거 및 흡착억제장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체칩이나 LCD패널이 가공되는 진공챔버에서 배기구 사이에 설치된 진공배관의 외측에 결합되는 진동판(53)과, 상기 진동판(53)을 통해 진공배관(12)으로 일정한 진동을 전달하도록 진동판(53)의 상면에 결합되어 진동을 발생하는 초음파진동자(51)와, 상기 초음파진동자(51)에서 일정한 진동을 발생시킬 수 있도록 초음파진동자(51)와 전기적으로 연결되어 소정의 전원 공급 및 제어하는 회로부가 구비된 본체(50A)를 포함하는 초음파진동 발진 및
반도체칩이나 LCD패널이 가공되는 진공챔버에서 배기구 사이에 설치된 진공배관의 외측에 결합되는 진동판과, 상기 진동판을 통해 진공배관으로 일정한 진동을 전달하도록 진동판의 상면에 결합되어 진동을 발생하는 초음파진동자와, 상기 초음파진동자에서 일정한 진동을 발생시킬 수 있도록 초음파진동자와 전기적으로 연결되어 소정의 전원 공급 및 제어하는 회로부가 구비된 본체를 포함하는 초음파진동 발진 및 제어수단;상기 초음파진동 발진 및 제어수단에 전기적으로 연결되어 소정량의 이온을 발생 상기 초음파진동자가 결합된 진공배관에 공급하도록 진공배관에
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