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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-2007-0014764 (2007-09-04) |
공개번호 | 20-2009-0002359 (2009-03-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020070014764 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 고안은 반도체 소자의 단자와 상기 반도체 소자의 양불을 테스트하기 위한 검사 회로기판 사이에 설치되어 반도체 소자 단자와 검사회로기판 사이의 전기적 접속을 중계하는 반도체 소자 테스트용 실리콘 콘택터로서, 절연성 실리콘 소재의 본체에 레이저 홀 가공기를 이용하여 본체에 상하로 관통되는 관통을 형성하여, 관통홀 내에 실리콘소재와 도전성 소재가 혼합된 도전 혼합물을 충진한 구성으로 되어있는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터이다.
반도체 소자의 단자와 상기 반도체 소자의 양불을 테스트하기 위한 검사 회로기판 사이에 설치되어 상기 반도체 소자 단자와 상기 검사회로기판 사이의 전기적 접속을 중계하는 반도체 소자 테스트용 실리콘 콘택터에 있어서,가. 절연성 실리콘 소재로 되어있는 본체(24)와;나. 레이저 홀 가공기를 이용하여 형성된 상기 본체에 상하로 관통되는 관통홀과;다. 상기 관통홀 내에 실리콘소재와 도전성 소재가 혼합된 도전 혼합물이 충진된 것(26)을 특징으로하는 반도체 소자 테스트용 실리콘 콘택터.제1항에 있어서, 상기 가의 실리콘 소재의 본체(24)는
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