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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 20-2008-0009872 (2008-07-24) | |
| 공개번호 | 20-2010-0001152 (2010-02-03) | |
| 등록번호 | 20-0465821-0000 (2013-03-05) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/2020080009872 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-05-17) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
세정액이 스핀척 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 스핀척의 구조를 개선한 기판의 매엽식 세정 장치가 개시된다.복수의 척핀이 구비된 스테이지를 포함하는 매엽식 세정장치용 스핀척에 있어서, 상기 스테이지에는 상기 척핀이 결합되는 척핀 결합홀이 형성되고, 상기 척핀 결합홀 주변에는 상기 스테이지 표면에서 일정 깊이 요입된 트랩홈이 형성된다.그리고, 상기 트랩홈의 바닥면에서 상기 척핀 결합홀의 인접부의 적어도 일부가 상기 트랩홈 바닥면에서 일정 높이 단차지게 단턱부가 형성된다.따라서, 척핀과 스테이지의 결합부 구조를 개선하여 결합부를
복수의 척핀이 결합되는 결합부가 형성된 스테이지를 구비하는 매엽식 세정장치용 스핀척에 있어서,상기 스테이지에 형성되어 상기 척핀이 결합되는 척핀 결합홀;상기 척핀 결합홀 주변에 형성되며 상기 스테이지 표면에서 일정 깊이 요입되어 형성된 트랩홈; 및상기 트랩홈에서 상기 척핀 결합홀에 인접한 적어도 일부가 상기 트랩홈 바닥면보다 일정 높이 돌출 형성된 단턱부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치용 스핀척.
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