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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0027935 (2001-12-20) |
공개번호 | US-0077045 (2002-06-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A resilient pneumatic annular sealing bladder is coupled for fluid communication to a first pressurized pneumatic fluid to define a first pneumatic zone and is attached to a first surface of the wafer stop plate adjacent the retaining ring interior cylindrical surface to receive the wafer and to sup
1. A wafer polishing head for polishing a semiconductor wafer on a polishing pad, said polishing head comprising:a housing including an upper housing portion; a retaining ring having an interior cylindrical surface and defining an interior cylindrical pocket sized to carry said wafer and to laterall
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