초록 ▼

본 발명은 CMP 헤드 상부 조립체에 관한 것으로, CMP 헤드에 설치되어 CMP 장비로부터 낙하되는 파티클이 웨이퍼로 떨어지지 않도록 차단하는 CMP 헤드 상부 조립체로서, 상기 CMP 헤드의 상면에 안착되며, 원통형상이고, 하단 둘레에는 원중심을 향해 연장된 커버플랜지를 갖는 신축성 소재의 상부커버; 상기 커버플랜지와 대응되는 형상의 링플랜지를 갖고, 상기 상부커버의 내부에서 상기 커버플랜지 상에 밀착되게 적층되는 고정링; 상기 링플랜지와 커버플랜지를 관통하여 상기 CMP 헤드에 구비된 헤드볼트공에 체결되는 고정볼트;를 포함하는

본 발명은 CMP 헤드 상부 조립체에 관한 것으로, CMP 헤드에 설치되어 CMP 장비로부터 낙하되는 파티클이 웨이퍼로 떨어지지 않도록 차단하는 CMP 헤드 상부 조립체로서, 상기 CMP 헤드의 상면에 안착되며, 원통형상이고, 하단 둘레에는 원중심을 향해 연장된 커버플랜지를 갖는 신축성 소재의 상부커버; 상기 커버플랜지와 대응되는 형상의 링플랜지를 갖고, 상기 상부커버의 내부에서 상기 커버플랜지 상에 밀착되게 적층되는 고정링; 상기 링플랜지와 커버플랜지를 관통하여 상기 CMP 헤드에 구비된 헤드볼트공에 체결되는 고정볼트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP 헤드 상부 조립체를 제공한다.본 발명에 따르면, 상부커버를 실리콘커버로 구성하여 작업중 충돌이 발생하더라도 깨지지 않으며, 씌우는 형태로 고정되므로 장탈착이 쉽고, 별도의 씰링수단을 구비할 필요도 없으며, 세척도 용이하여 웨이퍼 연마 작업시에 미세한 파티클과 같은 이물질이 웨이퍼 쪽으로 침투하는 것을 완벽하게 방지할 수 있다.

대표청구항 ▼

CMP 헤드의 상부에 설치되어 CMP 장비의 운전중에 CMP장비로부터 낙하되는 파티클이 웨이퍼로 떨어지지 않도록 차단하는 CMP 헤드 상부 조립체로서,상기 CMP 헤드의 상면에 안착되며, 원통형상이고, 하단 둘레에는 원중심을 향해 연장된 커버플랜지를 갖는 신축성 소재의 상부커버;상기 커버플랜지와 대응되는 형상의 링플랜지를 갖고, 상기 상부커버의 내부에서 상기 커버플랜지 상에 밀착되게 적층되는 고정링;상기 링플랜지와 커버플랜지를 관통하여 상기 CMP 헤드에 구비된 헤드볼트공에 체결되는 고정볼트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP

CMP 헤드의 상부에 설치되어 CMP 장비의 운전중에 CMP장비로부터 낙하되는 파티클이 웨이퍼로 떨어지지 않도록 차단하는 CMP 헤드 상부 조립체로서,상기 CMP 헤드의 상면에 안착되며, 원통형상이고, 하단 둘레에는 원중심을 향해 연장된 커버플랜지를 갖는 신축성 소재의 상부커버;상기 커버플랜지와 대응되는 형상의 링플랜지를 갖고, 상기 상부커버의 내부에서 상기 커버플랜지 상에 밀착되게 적층되는 고정링;상기 링플랜지와 커버플랜지를 관통하여 상기 CMP 헤드에 구비된 헤드볼트공에 체결되는 고정볼트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP 헤드 상부 조립체.