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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0921271 (2004-08-19) |
공개번호 | US-0016987 (2005-01-27) |
우선권정보 | JP-0106813 (2000-04-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
An objective of the present invention is to provide a ceramic heater making it possible to prevent a short circuit in its resistance heating element and heat a semiconductor wafer evenly. The ceramic heater of the present invention is a ceramic heater comprising: a ceramic substrate; an insulating l
1. A ceramic heater comprising: a ceramic substrate; an insulating layer having volume resistivity higher than that of said ceramic substrate, being formed on at least a part of said ceramic substrate; and a resistance heating element formed on said insulating layer. 2. The ceramic heater according
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