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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0388482 (1982-06-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 7 |
In this cylindrical, magnetically-enhanced, sputtering cathode, the magnetic field at the cathode target is generated by applying an electric current through a hollow electrical conductor disposed within a tubular target, so that the electric current flowing along this conductor induces circular mag
A cylindrical, magnetically-enhanced, sputtering cathode which produces a thin film on the surface of an object, which comprises: a tubular target; a hollow electrical conductor disposed within the tubular target; means for applying an electric current through the conductor which generates a magneti
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