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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)씨앤아이테크놀로지 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500015759 |
과제고유번호 | 1425081568 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-10 |
키워드 | 마그네트론.캐소드.실린더리칼 캐소드.로테이터블 캐소드.스퍼터링 캐소드. |
□ 개발목표
계 획
85% 이상의 Target 효율을 갖는 magnetron cathode 개발
실 적
Target 효율 87.3%를 갖는 Cylindrical magnetron cathode 개발하여 제품화 적용 완료
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. Erosion efficiency : 계획(>85%), 실적(87.23 %)
2. Leak rate : 계획(< 5E-9torr.l/sec), 실적(1.45E-9torr.l/sec)
3. Uniformity : 계획(<±3% on
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