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Apparatus and method of cathodic arc deposition 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/24
  • C23C-014/32
출원번호 US-0625013 (1990-12-10)
발명자 / 주소
  • Tamagaki Hiroshi (Kobe JPX) Akari Koichiro (Urawa JPX)
출원인 / 주소
  • Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 30  인용 특허 : 0

초록 ▼

Cathodic arc deposition method and apparatus, including an arc evaporation source containing a film forming material. A substrate is arranged on the central axis line of and in front of the evaporation surface of the arc evaporation source. At least one magnet coil is arranged around the central axi

대표청구항 ▼

A cathodic arc deposition apparatus, comprising: an arc evaporation source having an evaporation surface containing a film forming material; a substrate surface arranged on a central axis line of and facing the evaporation surface of the arc evaporation source; and at least one magnet coil means for

이 특허를 인용한 특허 (30)

  1. Ramalingam Subbiah, Apparatus for driving the arc in a cathodic arc coater.
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  2. Beers Russell A. ; Royal Tyrus E., Apparatus for steering the arc in a cathodic arc coater.
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  3. Bergmann Erich,CHX, Apparatus for vapor deposition and evaporator.
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  4. Khominich Viktor N., Cathode arc vapor deposition method and apparatus.
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  5. Munemasa Jun (Kobe JPX) Kumakiri Tadashi (Kobe JPX) Tanaka Tatsuya (Kobe JPX), Cathodic arc deposition system.
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  6. Beers Russell A. ; Hendricks Robert E. ; Marszal Dean N. ; Noetzel Allan A. ; Wright Robert J. ; Royal Tyrus E., Cathodic arc vapor deposition apparatus.
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  7. Hendricks Robert E. ; Beers Russell A. ; Marszal Dean N. ; Noetzel Allan A. ; Wright Robert J., Cathodic arc vapor deposition apparatus (annular cathode).
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  8. Sunthankar, Mandar B.; Storey, Daniel M., Coating method and apparatus.
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  9. Gorokhovsky, Vladimir; Bekesch, Nicholas, Composite vapor deposited coatings and process therefor.
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  10. Sheek,James G.; Grembowicz,Jarek; Song,Inho; O'Brien,Timothy J., Corrosion and abrasion resistant decorative coating.
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  11. O'Brien Timothy J. ; Song Inho ; Trautman Brenda L. ; Bubar Brian S. ; May Darrell K. ; Preston Joseph E. ; Sheek James G. ; Wilder Jeffrey D., Decorative corrosion and abrasion resistant coating.
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  12. Krauss Alan R., Filtered cathodic arc deposition apparatus and method.
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  13. Yamamoto, Kenji; Kujime, Susumu, Hard coating film and method for forming the same.
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  14. Yamamoto, Kenji; Kujime, Susumu, Hard coating film and method for forming the same.
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  15. Yamamoto,Kenji; Satou,Toshiki; Morikawa,Yasuomi; Hanaguri,Koji; Takahara,Kazuki, Hard film cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film and target used to form hard film.
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  16. Yamamoto, Kenji; Satou, Toshiki; Morikawa, Yasuomi; Hanaguri, Koji; Takahara, Kazuki, Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film.
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  17. Yamamoto, Kenji; Satou, Toshiki; Morikawa, Yasuomi; Hanaguri, Koji; Takahara, Kazuki, Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film.
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  18. Ohkawa, Tihiro, Liquid substrate collector.
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  19. Madocks,John, Magnetron plasma source.
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  20. Charles Dominic Iacovangelo ; Keith Milton Borst ; Elihu Calvin Jerabek ; Patrick Peter Marzano ; Barry Lee-Mean Yang, Method and apparatus for arc plasma deposition with evaporation of reagents.
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  21. Boswell Roderick,AUX ; Durandet Antoine,AUX ; MacKenzie David,AUX, Method and apparatus for coating a substrate.
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  22. Bowers Jim, Method and apparatus for reactive plasma surfacing.
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  23. Cadieu, Fred J., Method for making films utilizing a pulsed laser for ion injection and deposition.
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  24. Cadieu, Fred J., Method for making films utilizing a pulsed laser for ion injection and deposition.
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  25. Barry Lee-Mean Yang ; Charles Dominic Iacovangelo, Multilayer article and method of making by ARC plasma deposition.
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  26. Sekiya, Takuma; Murayama, Yuuichi; Sato, Masayuki; Shima, Yuji; Takahashi, Junya; Moronuki, Masaki, Piston ring.
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  27. Sathrum Paul E. ; Coll Bernard F., Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition.
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  28. Braendle Hans,CHX ; Shima Nobuhiko,JPX, Tool with tool body and protective layer system.
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  29. Braendle, Hans; Shima, Nobuhiko, Tool with tool body and protective layer system.
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  30. Akari Koichiro,JPX, Vacuum arc evaporation method.
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