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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0921780 (1992-07-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 56 인용 특허 : 0 |
A continuous, cathodic arc ion source coupled to a macro-particle filter capable of separation or elimination of macro-particles from the ion flux produced by cathodic arc discharge. The ion source employs an axial magnetic field on a cathode (target) having tapered sides to confine the arc, thereby
A method for substantially removing macro-particles produced in a cathodic arc ion source, comprising the steps of: forming a housing having a 45°bend therein; positioning a cathode and a first annular anode in one end of the housing; positioning a second annular anode in an opposite end of said hou
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