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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0291455 (1999-04-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 51 |
An apparatus is disclosed for generating oppositely directed streams of plasma for the purpose of depositing a coating or performing ion processing. The plasma comprises ionized vapor of a cathode material, generated by vacuum arc evaporation from a linear magnetron cathode. The plasma is diverted b
[ What I claim is:] [1.] An apparatus for generating oppositely directed plasma streams comprising ionized vapor of a cathode material, said apparatus comprising cathode means, filter means, magnetic means, arc power supply means, and anode means; said apparatus having oppositely facing output apert
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