[특허]Filtered cathodic arc source

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/32
출원번호	US-0921780 (1992-07-30)
발명자 / 주소	Falabella Steven (Livermore CA) Sanders David M. (Livermore CA)
출원인 / 주소	as represented by the United States Department of Energy (Washington DC 06)
인용정보	피인용 횟수 : 56 인용 특허 : 0

초록 ▼

A continuous, cathodic arc ion source coupled to a macro-particle filter capable of separation or elimination of macro-particles from the ion flux produced by cathodic arc discharge. The ion source employs an axial magnetic field on a cathode (target) having tapered sides to confine the arc, thereby providing high target material utilization. A bent magnetic field is used to guide the metal ions from the target to the part to be coated. The macro-particle filter consists of two straight solenoids, end to end, but placed at 45°to one another, which prevents line-of-sight from the arc spot on the target to the parts to be coated, yet provides a path for ions and electrons to flow, and includes a series of baffles for trapping the macro-particles.

대표청구항 ▼

A method for substantially removing macro-particles produced in a cathodic arc ion source, comprising the steps of: forming a housing having a 45°bend therein; positioning a cathode and a first annular anode in one end of the housing; positioning a second annular anode in an opposite end of said housing; providing a pair of solenoids in an end-to-end relationship, but bent at 45°with respect to one another; positioning the pair of solenoids so that each of the pair are on opposite sides of the 45°bend in the housing; providing a plurality of non-magnetic annular baffles in the housing so as to be located on both sides of the 45°bend in the housing, and supplying appropriate electrical power to the cathode, the anodes, and the solenoids; whereby ions produced by the cathode are guided by a magnetic field, extending from the first anode to the second anode, from the cathode through the 45°bend in the housing to a point of use located beyond the second anode, and whereby macro-particles produced by the cathode are reflected and trapped by the annular baffles preventing the macro-particles from passing through the entirety of the housing.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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