[특허]Ceramic electrostatic chuck with built-in heater

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H02N-013/00
출원번호	US-0263533 (1994-06-22)
우선권정보	JP-0152015 (1993-06-23)
발명자 / 주소	Kawada Nobuo (Gunma-ken JPX) Yamaguchi Kazuhiro (Gunma-ken JPX)
출원인 / 주소	Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 0

초록 ▼

A novel ceramic electrostatic chuck with built-in heater is proposed which is outstandingly durable in use with repeated cycles of heating and cooling because of the absence of troubles due to exfoliation of layers and crack formation in the ceramic body. Differently from conventional ceramic electrostatic chuck with built-in heater consisting of a base plate of sintered body of boron nitride, layers of pyrolytic graphite formed on the surfaces of the base plate to serve, one, as the electrode layer and, the other, as the heater element, and an insulating layer of pyrolytic boron nitride formed on the pyrolytic graphite layers, the base plate in the invention is made of a composite sintered body of a powder mixture of aluminum and boron nitrides in a specified mixing proportion so as to minimize the difference in the thermal expansion coefficient from those of the overlaying layers.

대표청구항 ▼

A ceramic electrostatic chuck with built-in heater which is an integral body comprising: (a) a base plate having opposing first and second surfaces formed from a composite sintered body of a powder mixture consisting of from 5% to 50% by weight of aluminum nitride and from 95% to 50% by weight of boron nitride; (b) a layer of pyrolytic graphite to serve as an electrode of the electrostatic chuck formed on the first surface of the base plate; (c) a layer of pyrolytic graphite to serve as an electric heater element of the built-in heater formed on the second surface of the base plate; and (d) a coating layer of pyrolytic boron nitride as an electric insulator formed on the layers of the pyrolytic graphite.

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Wang, You; Shamouilian, Shamouil; Kholodenko, Arnold; Veytser, Alexander M.; Bedi, Surinder S.; Narendrnath, Kadthala R.; Kats, Semyon L.; Grimard, Dennis S.; Cheng, Wing L.; Kumar, Ananda H., Electrostatic chuck having heater and method.
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Shamouil Shamouilian ; You Wang ; Surinder S. Bedi ; Arnold Kholodenko ; Alexander M. Veytser ; Kadthala R. Narendrnath ; Semyon L. Kats ; Dennis S. Grimard ; Wing L. Cheng ; Ananda H. Kumar, Electrostatic chuck having improved electrical connector and method.
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Zucker, Martin L.; Devine, Daniel J.; Lee, Young Jai, Electrostatic chuck system and process for radially tuning the temperature profile across the surface of a substrate.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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