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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0263533 (1994-06-22) |
우선권정보 | JP-0152015 (1993-06-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 0 |
A novel ceramic electrostatic chuck with built-in heater is proposed which is outstandingly durable in use with repeated cycles of heating and cooling because of the absence of troubles due to exfoliation of layers and crack formation in the ceramic body. Differently from conventional ceramic electr
A ceramic electrostatic chuck with built-in heater which is an integral body comprising: (a) a base plate having opposing first and second surfaces formed from a composite sintered body of a powder mixture consisting of from 5% to 50% by weight of aluminum nitride and from 95% to 50% by weight of bo
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