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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0253714 (1994-06-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 139 인용 특허 : 123 |
Method and apparatus are disclosed for low temperature deposition of CVD and PECVD films utilizing a gas-dispersing showerhead position within one inch of a rotating substrate. The showerhead is positioned a suitable distance below a gas-dispensing apparatus such as a steady stay flow of gas develop
An apparatus for deposition of a film on a substrate inside a chemical vapor deposition chamber comprising: a rotating susceptor to support and rotate said substrate inside said chamber, the rotating susceptor creating a pumping action toward the substrate; a gas-dispersing showerhead opposite the s
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