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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0807179 (1997-02-27) |
우선권정보 | JP-0040128 (1996-02-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 5 |
A semiconductor device comprises a semiconductor acceleration sensor having a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer, a detecting device disposed on the cantilever for detecting a displacement of the cantilever due to an acceleration force applied to the cantilever, and a supporter
[ What is claimed:] [1.] A semiconductor device having a semiconductor acceleration sensor, comprising:a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer and having a strain sensitive section;a supporter for supporting the cuboid-shaped cantilever; andmeans for fixing at least one edge of the
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