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[미국특허] Semiconductor acceleration sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-029/82
출원번호 US-0807179 (1997-02-27)
우선권정보 JP-0040128 (1996-02-27)
발명자 / 주소
  • Shinogi Masataka,JPX
  • Saitoh Yutaka,JPX
  • Kato Kenji,JPX
출원인 / 주소
  • Seiko Instruments R&D Center Inc., JPX
대리인 / 주소
    Adams & Wilks
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 5

초록

A semiconductor device comprises a semiconductor acceleration sensor having a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer, a detecting device disposed on the cantilever for detecting a displacement of the cantilever due to an acceleration force applied to the cantilever, and a supporter

대표청구항

[ What is claimed:] [1.] A semiconductor device having a semiconductor acceleration sensor, comprising:a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer and having a strain sensitive section;a supporter for supporting the cuboid-shaped cantilever; andmeans for fixing at least one edge of the

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Kloeck Benjamin (Hitachi JPX) Suzuki Seiko (Hitachioota JPX) Tsuchitani Shigeki (Mito JPX) Miki Masayuki (Katsuta JPX) Matsumoto Masahiro (Hitachi JPX) Sato Kazuo (Tokyo JPX) Koide Akira (Choufu JPX), Capacitive type semiconductor accelerometer.
  2. Dunn William C. (Mesa AZ) Liaw H. Ming (Scottsdale AZ) Ristic Ljubisa (Phoenix AZ) Roop Raymond M. (Scottsdale AZ), Monolithic circuit with integrated bulk structure resonator.
  3. Kurtz Anthony D. (Teaneck NJ) Ned Alexander A. (Bloomingdale NJ), Piezoresistive accelerometer with enhanced performance.
  4. Yamamoto Masahiro (Itami JPX), Semiconductor acceleration detecting apparatus.
  5. Tai Akira (Kasugai JPX) Yamada Toshitaka (Nagoya JPX) Fujihashi Yoshinori (Motosu JPX) Fukada Tsuyoshi (Aichi JPX) Shioya Hirohito (Chiryu JPX) Yoshino Yoshimi (Inuyama JPX) Sugito Hiroshige (Nagoya , Semiconductor strain sensor having improved resistance to bonding strain effects.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. McAlexander, III, Joseph Colby, Bi-directional released-beam sensor.
  2. Yoshikawa Eiji,JPX ; Tsugai Masahiro,JPX, Semiconductor accelerometer switch.
  3. Tanaka Hiroaki,JPX ; Toyoda Inao,JPX ; Suzuki Yasutoshi,JPX, Semiconductor pressure sensor having strain gauges and stress balance film.
  4. Hattori, Atsuo; Matsuoka, Junya, Uniaxial acceleration sensor.

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