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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0632559 (2009-12-07) |
등록번호 | US8052798 (2011-10-25) |
우선권정보 | JP-2003-003-298440(2003-08-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 6 |
A particle removal apparatus for removing particles from a chamber of a plasma processing apparatus, wherein the chamber is connected to a gas exhaust port and a plasma of a processing gas is generated in the chamber to plasma process a substrate to be processed, includes a particle charging control
What is claimed is: 1. A method of removing particles from a chamber of a plasma processing apparatus, wherein the chamber is connected to a gas exhaust port and a plasma of a processing gas is generated in the chamber to plasma process a substrate to be processed, the method comprising:positively c
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