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[미국특허] Advanced penning ion source 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-007/24
  • H01J-027/04
출원번호 US-0018028 (2013-09-04)
등록번호 US-9484176 (2016-11-01)
발명자 / 주소
  • Schenkel, Thomas
  • Ji, Qing
  • Persaud, Arun
  • Sy, Amy V.
출원인 / 주소
  • Schenkel, Thomas
대리인 / 주소
    Lawrence Berkeley National Laboratory
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 17

초록

This disclosure provides systems, methods, and apparatus for ion generation. In one aspect, an apparatus includes an anode, a first cathode, a second cathode, and a plurality of cusp magnets. The anode has a first open end and a second open end. The first cathode is associated with the first open en

대표청구항

1. An apparatus comprising: an anode having a first open end and a second open end; a first cathode associated with the first open end of the anode;a second cathode associated with the second open end of the anode, the anode, the first cathode, and the second cathode defining a chamber, the second c

이 특허에 인용된 특허 (17) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Swingler Donald L. (Park Orchards AUX), Cold cathode ion source.
  2. Flemming John Peter Wilfred (Hopewell Township ; Mercer County NJ), Cold-cathode ion source.
  3. Correa Paulo N. (42 Rockview Gardens Concord ; Ontario CAX) Correa Alexandra N. (42 Rockview Gardens Concord ; Ontario CAX L4K2J6), Direct current energized pulse generator utilizing autogenous cyclical pulsed abnormal glow discharges.
  4. Hahto, Sami K.; Goldberg, Richard; McIntyre, Edward; Horsky, Thomas N., External cathode ion source.
  5. Watanabe, Satoru; Itoh, Kazuhiro; Miyakawa, Naomichi; Watanabe, Kazunari; Ito, Setsuro, Fluorescent lamp.
  6. Glavish, Hilton F.; Horsky, Thomas N.; Jacobson, Dale C.; Hahto, Sami K.; Naito, Masao; Nagai, Nobuo; Hamamoto, Nariaki, Ion beam apparatus and method employing magnetic scanning.
  7. Glavish, Hilton F.; Jacobson, Dale C.; Hahto, Sami K.; Horsky, Thomas N., Ion beam apparatus and method for ion implantation.
  8. Horsky,Thomas Neil; Williams,John Noel, Ion implantation ion source, system and method.
  9. Inouchi Yutaka,JPX, Ion source.
  10. Maishev Yuri,RUX ; Ritter James ; Velikov Leonid ; Shkolnik Alexander, Ion-beam source with virtual anode.
  11. Baptist Robert (Jarrie FRX) Py Christophe (Grenoble FRX), Ionization vacuum gauge using a cold micropoint cathode.
  12. Ivanov Vladimir V. (Saratov RUX) Danilov Uriy I. (Saratov RUX) Zakharov Michael V. (Saratov RUX), Low breakdown voltage gas discharge device and methods of manufacture and operation.
  13. Tieger, Daniel R.; Splinter, Patrick R., Methods for implanting B22Hx and its ionized lower mass byproducts.
  14. Schumacher Robert W. (Woodland Hills CA) Poeschel Robert L. (Thousand Oaks CA), Plasma switch with hollow, thermionic cathode.
  15. C. Christopher Klepper ; Robert C. Hazelton ; John Niemel ; Michael D. Keitz ; Caterina Vidoli, Species-selective pressure gauge with extended operation.
  16. Chapin John S. (Boulder CO), Sputtering process and apparatus.
  17. Glavish Hilton F. (Incline Village NV), System and method for producing oscillating magnetic fields in working gaps useful for irradiating a surface with atomic.

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