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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0209216 (2014-03-13) |
등록번호 | US-10126760 (2018-11-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 31 |
A system for delivering pulses of a desired mass of gas to a tool, comprising: a mass flow controller including flow sensor, a control valve and a dedicated controller configured and arranged to receive a recipe of a sequence of steps for opening and closing the control valve so as to deliver as seq
1. A programmable mass flow controller comprising: an input configured to receive an input signal;an output configured to provide an output signal;a communication port configured to receive program instructions including instructions relating to the programmed configuration of the mass flow controll
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