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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 16430569 (2019-06-04) |
등록번호 | 11088006 (2021-08-10) |
우선권정보 | JP-JP2018-114381 (2018-06-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
An electrostatic chuck includes a platform, a power feed pin, a tubular insulator, an adhesive layer, and a first primer. The platform includes an electrode. The power feed pin contacts the electrode. The tubular insulator is provided around the power feed pin. The adhesive layer bonds the platform
1. An electrostatic chuck comprising: a platform including an electrode;a power feed pin contacting the electrode;a tubular insulator provided around the power feed pin;a first primer provided on a surface of the tubular insulator facing toward the platform;a metallic component provided outside the
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