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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A2 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0010746 (2008-09-12) |
공개번호 | WO-9038686 (2009-03-26) |
우선권정보 | US 60/993,819 20070914 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A microelectronic device (100) comprises a device container comprising top and bottom opposing substrates (110,120) spaced apart by support walls (130) forming a cavity (160) therebetween. A top surface (114) of the bottom substrate (110) comprises a plurality of peripheral regions outside of the ca
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