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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0059065 (2015-11-04) |
공개번호 | WO-0093986 (2016-06-16) |
우선권정보 | US-201414567161 (2014-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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Embodiments of the disclosure include an electrostatic chuck assembly, a processing chamber and a method of maintaining a temperature of a substrate is provided. In one embodiment, an electrostatic chuck assembly is provided that includes an electrostatic chuck, a cooling plate and a gas box. The co
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