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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US2020/032989 (2020-05-14) |
공개번호 | 2020/232306 (2020-11-19) |
우선권정보 | 62/848,300 (2019-05-15); 15/931,297 (2020-05-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A metrology device that can determine at least one characteristics of a sample is disclosed. The metrology device includes an optical system that uses spatially coherent light with a first and a second objective lens as well as a detector that detects light reflected from the sample. The objective l
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