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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP2020/042821 (2020-11-17) |
공개번호 | 2021/166345 (2021-08-26) |
우선권정보 | 2020-025354 (2020-02-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A semiconductor failure analysis device 1 is equipped with: an analysis unit 10 for analyzing an area of failure in a semiconductor device D; a marking unit 20 for irradiating the semiconductor device D with a laser beam; a device-positioning unit 30 in which a wafer chuck 32, which holds the semico
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