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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전남대학교 Chonnam National University |
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연구책임자 | 김상섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-05 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900069938 |
과제고유번호 | 1350003093 |
사업명 | 목적기초연구사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 질화탄소.질화탄소박막.PECVD.박막분석.결정성.단범위결합구조.트라이볼로지.박막물성.기계적성질.carbon nitride.carbon nitride film.PECVD.film analysis.crystallinity.short range bonding structure.tribology.film property.mechanical property. |
연구목표
질화탄소 박막의 상형성 거동 및 단범위 결합관계와 트라이볼로지 특성의 상관관계 규명
연구내용
본 연구에서는 PECVD법을 이용하여 비정질 질화탄소 박막을 제조할 경우 가장 중요한 증착 변수인 반응가스의 압력 및 가스조성의 변화에 따른 비정질 질화탄소 박막의 증착 거동 변화를 체계적으로 조사하고 증착변수에 따른 단범위 결합구조의 변화거동을 분석하였다. 또한 비정질 질화탄소 박막에서 결정질 질화탄소 박막으로의 상전이 과정을 조사하기 위해 질소분위기에서 열처리하여 결정성 생성 및 단범위 결합구조 변화를 조사하였으
Purpose of Research
Examination on the phase transformation behaviors in carbon nitride thin films and the relationship between the tribological properties and the short range bonding structures.
Contents of Research
In this study, amorphous carbon nitride films were deposited on Si(001) su
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