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NTIS 바로가기등록일자 | 2007-10-04 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=5c0c3d605cbe4ddead49a2d57b2fdf2e&fileSn=1&bbsId= |
○ 반도체 제조공정에 사용되고 있는 세라믹 부품의 주요 소재는 Quartz, SiC, Al₂O₃, AlN등이 사용되고 있으며, 국내의 Quartz만 하여도 금액은 상상을 초월하는 정도이다. 이제까지 반도체 공정용 세라믹 부품소재로 석영이 차지하는 비중이 높았으나 최근 반도체 공정이 고집적화되고, 사용하는 실리콘 웨이퍼의 크기가 대형화되면서 석영유리의 취약점을 보완할 수 있는 재료로 탄화규소가 각광을 받고 있다.
○ 고온에서 사용되어온 석영유리 대신에 기계적 및 내화학적 특성과 입자오염에 강한 탄화규소를 대체 소재
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