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NTIS 바로가기등록일자 | 2010-02-11 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=6e6c08ea16f64c54941c1f9b71c27d58&fileSn=1&bbsId= |
○ 물질의 기본 상태인 고체, 액체, 기체의 3가지 상태 이외에 ‘물질의 제4의 상태’라고 불리는 플라즈마는 원자나 분자로 된 기체가 에너지를 받아서 이온화된 입자들을 만들어 낸 상태이다. 플라즈마는 전기적으로 중성을 띄고 있다. 이는 진공 속에서 전기적인 에너지를 가해 줌으로써 생성되며, 반도체나 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display) 업계 전반에서 화학적 기상증착법(CVD: Chemical Vapor Deposition)과 건식 식각장치(Dry etcher) 등 초미세 공정에 폭넓게 적용되고 있다.
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