초록 ▼

문서암호 : www.kosen21.org

1. 분석자 서문

칼코겐 유리(chalcogenide glass)는 원소의 주기율표 시스템의 VI족에서 산소를 제외한 S, Se, Te의 원소를 하나 또는 그 이상 포함하는 화합물로 비산화물계 비정질 물질이다. 이들 재료는 공유 결합으로 구성되어 있어 분자 고체(molecular solid)로 분류된다. 칼코겐 유리 물질은 반도체 성질 및 고굴절 특징으로 인해 주로 태양전지 등의 광전변화소자, 비정질 트랜지스터, IR 렌즈나 섬유에 많이 응용되고 있으며, 본

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1. 분석자 서문

칼코겐 유리(chalcogenide glass)는 원소의 주기율표 시스템의 VI족에서 산소를 제외한 S, Se, Te의 원소를 하나 또는 그 이상 포함하는 화합물로 비산화물계 비정질 물질이다. 이들 재료는 공유 결합으로 구성되어 있어 분자 고체(molecular solid)로 분류된다. 칼코겐 유리 물질은 반도체 성질 및 고굴절 특징으로 인해 주로 태양전지 등의 광전변화소자, 비정질 트랜지스터, IR 렌즈나 섬유에 많이 응용되고 있으며, 본 분석물의 주제인 가스나 이온 센서로서의 용도로도 활발히 연구되고 있다. 특히 용액상 화학분석을 위한 전위차 센서용 막으로서 칼코겐 유리 물질에 관한 연구는 30여년간 수행되어 왔다. 1970년대 이미 칼코겐 유리의 이온 검출 특성에 관한 최초의 보고가 있었고, 이후 고체상 화학, 검출 메커니즘, 분석 특성에 관한 체계적 연구가 수행되어 왔다. 칼코겐 유리 막의 분석 성능에 반도체 공정에 사용되는 기법을 결합하여, 중금속을 검출하는 칼코겐 유리 물질을 갖는 실리콘 기반의 신규 박막 센서가 개발되었다. 초기에는 co-sputtering 법을 사용하여 Cu2+ 이온 선택 전계효과 센서가 개발되었고, 최근에는 펄스레이저증착법을 활용하여 다양한 이온 검출이 가능하도록 복잡한 조성을 갖는 다양한 종류의 칼코겐 유리 물질을 소형 화학 센서인 ISFET, EIS, LAPS 및 μISE 구조 상에 화학당량적으로 증착하고 있다. 본 분석물의 문서는 칼코겐 유리 물질을 갖는 실리콘 기반의 박막 센서 분야의 연구 및 발전내용을 주로 하였으며, 집중적으로 지난 20년간 제조 및 소형화의 기술적 관점을 다루고 있다. 따라서 본 자료에서 소개된 최첨단 재료로 구성된 센서를 기반으로 하는 집적화된 소자 및 분 기술에 관한 내용과 기술적 경향은 관련 기술자 및 과학자에게 유용한 참고자료가 되리라 사료된다.

2. 목차
1. 서론

2. 박막 제조 및 도핑 방법

3. PLD에 의한 칼코겐 유리 막의 박막 제조

4. 결론

Reference



3. 원문정보
Schöning, Michael J.; Kloock, Joachim P.,
About 20 Years of Silicon-Based Thin-Film Sensors with Chalcogenide Glass Materials for Heavy Metal Analysis: Technological Aspects of Fabrication and Miniaturization , Electroanalysis, Volume 19, issue 19-20, p. 2029 - 2038, October 2007

※ 이 자료의 분석은 삼성SDI의 양남철님께서 수고해 주셨습니다.