초록 ▼

문서암호 : www.kosen21.org

1. 분석자 서문
최근 탄성 중합체, 플라스틱, 섬유 등을 포함하는 고분자 소재가 MEMS 센서 및 액츄에이터에 적용되기 위해 활발히 연구되고 있다. 고분자 소재는 가격, 기계적 성질, 그리고 가공성 측면에서 많은 이점을 제공한다. 그러한 이유 때문에 고분자 소재는 디스플레이, 반도체 메모리, 전자 회로 적용 분야에서도 함께 연구되고 있다. 그러나 고분자 소재가 MEMS 소자에서 구조체 또는 기능적 목적으로 사용될 때는 몇몇 문제점이 발생할 수 있으므로 이를 극복하기 위한

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1. 분석자 서문
최근 탄성 중합체, 플라스틱, 섬유 등을 포함하는 고분자 소재가 MEMS 센서 및 액츄에이터에 적용되기 위해 활발히 연구되고 있다. 고분자 소재는 가격, 기계적 성질, 그리고 가공성 측면에서 많은 이점을 제공한다. 그러한 이유 때문에 고분자 소재는 디스플레이, 반도체 메모리, 전자 회로 적용 분야에서도 함께 연구되고 있다. 그러나 고분자 소재가 MEMS 소자에서 구조체 또는 기능적 목적으로 사용될 때는 몇몇 문제점이 발생할 수 있으므로 이를 극복하기 위한 많은 노력이 필요하다. 이 논문은 고분자 소재를 기반으로 하는 MEMS 분야의 소재, 제조 공정, 대표적인 소자 (유체 밸브, 접촉 센서)에 대한 최신 기술을 소개하고 있다. 여기에서 소개된 고분자 소재는 최근에 많이 연구되는 PDMS, parylene, 나노 복합 중합체, 그리고 SU-8 에폭시 등이다.

2. 목차
1. 개요

2. 고분자 MEMS 소재
2.1 PDMS 탄성 중합체
2.2 패릴렌(Parylene)
2.3 나노 복합 중합체
2.4 SU-8 에폭시

3. 응용사례
3.1 PDMS 미세 유체 소자
3.2 패릴렌 밸브
3.3 고분자 접촉 감각 피부

4. 당면 과제와 향후 전망

참고문헌



3. 원문정보
Chang Liu, Recent Developments in Polymer MEMS, Advanced Materials, 2007년 11월

※ 이 자료의 분석은 한국산업기술대학교의 이희철님께서 수고해 주셨습니다.