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NTIS 바로가기등록일자 | 2013-07-01 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/760831 |
1. 분석자 서문
집적도가 높고 복잡한 기능을 가진 마이크로 전자 소자는 항상 직경이 큰 초그랄스키 실리콘 웨이퍼가 필요하다. 실리콘 불순물은 품질 관리에 큰 영향을 미치므로, 실리콘의 결정 성장과 소자 제작 시에 불순물 관리가 잘 되어야 한다. N, Ge, C 등을 초크랄스키 실리콘에 co-doping하여 결합을 조절하고 결함 생성을 방지하는 방법이 최근에 많이 발전되었다. 불순물 공학이라고 하는 이러한 분야는 최근에 마이크로 전자 산업에 많이 요구되는 고품질 초크랄스키 제조 시 유용하게 응용된다. 본 자료는 초크랄스키 실
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