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NTIS 바로가기등록일자 | 2014-01-07 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/761240 |
1. 분석자 서문티타늄(Ti)을 함유한 박막은 지난 수십 년간 특수한 물성 때문에 많은 관심을 끌어왔으며, 많이 응용될 수 있다. 화학 증착(CVD)은 표면 코팅의 진보된 제조 기술이며, 널리 사용되었다. 다양한 표면 코팅과 박막을 준비하는 데 사용되었다. 그러므로, 연구자들은 지난 수십 년간 CVD법에 의한 Ti 코팅에 관하여 심도 있는 연구를 수행해왔다. 본 논문에서는 CVD법에 의한 Ti 함유 박막의 발전 동향에 대하여 기술하였다. Ti 함유 박막은 순수한 Ti, 2성분, 3성분과 4성분 박막으로 분류되며, 이들의 사전 조사의
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