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차세대 반도체기술 동향 파악 및 우리의 대응전략 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전자통신연구원
Electronics and Telecommunications Research Institute
연구책임자 안병성
참여연구자 마동성 , 이진효
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1988-01
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국전자통신연구원
Electronics and Telecommunications Research Institute
등록번호 TRKO200200001656
DB 구축일자 2013-04-18

초록

=== 연구의 내용 및 범위 === \\ 미국과 일본의 기술선진국들의 초고집적 반도체 기술 개발 동향 조사 분석 \\ \\ 기술선진국의 3차원 집접회로 및 GaAs 반도체 기술 개발 등에 관한 분석 연구 \\ \\ 국내외 반도체 생산장비 및 화학약품 등의 기술 개발 조사 \\ \\ 우리나라의 다음 세대 반도체기술 발전방향 설정 및 추진과제의 도출 \\

목차 Contents

  • 제1장 서 론...13
  • 제2장 기술분야별 국내외 개발현황...16
  • 2.1 초고집적 실리콘 기억소자기술...17
  • 2.1.1 기억소자의 산업전망...17
  • 2.1.2 셀구조 개발동향...21
  • 2.2 3 차원 집적회로기술...25
  • 2.2.1 기술개발의 배경...25
  • 2.2.2 3차원 소자의 제작 예...27
  • 2.2.3 SOI 기술개발동향...28
  • 2.3 화합물 반도체 기술...30
  • 2.3.1 화합물 반도체의 산업전망...30
  • 2.3.2 GaAs 반도체기술 개발동향...36
  • 2.3.3 Ⅱ-Ⅵ족 반도체기술 개발동향...44
  • 2.4 반도체 생산장비 및 화학약품기술...50
  • 2.4.1 기술개발의 배경...50
  • 2.4.2 공정장비기술의 개발동향...51
  • 2.4.3 화학약품의 개발동향...53
  • 제3장 방향제시...58
  • 3.1 중점추진과제의 도출...62
  • 3.2 기술분야별 세부추진과제...63
  • 3.2.1 초고집적 반도체기술...63
  • 3.2.2 3차원 집적회로기술...64
  • 3.2.3 화합물 반도체기술...65
  • 3.2.4 반도체장비 및 화학약품기술...66
  • 참고문헌...68

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참고문헌 (25)

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