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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 문대원 |
참여연구자 | 김현경 , 황찬용 , 김경준 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1991-12 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200004516 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 표면/계면.XPS.STM.ion beam sputtering deposition.가속이온빔.Ion Implantation.Surface/interface.XPS.STM.ion beam sputtering deposition.accelerated ion beams.Ion Implantation. |
=== 연구개발의 내용 및 범위 === \\ 1. VAMAS-SCA Japan Project를 통한 Au-Cu와 Co-Ni 합금 시료의 XPS 분석 국제표준화 연구 \\ 2. 이온빔을 이용한 이온주입 및 이온 주입층 분석과 박막 성장 장비(Ion Beam Sputtering Deposition System)의 설계 제작 \\ 3. 표면/계면의 원자 및 전자 구조 분석을 위한 STM/LEED 초고진공 용기 제작
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