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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항산업과학연구원 Research Institute of Industrial Science & Technology |
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연구책임자 | 박종철 |
참여연구자 | 신현준 , 이성익 , 이후종 , 구자강 , 제정호 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 포항산업과학연구원 Research Institute of Industrial Science & Technology |
등록번호 | TRKO200200004569 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 고온초전도 박막.스텝-에지 접합.조셉슨 접합.Nb/Al/AlO/SUB x/Nb 접합.전달함수.HTSC Thin Film.Step-edge Junction.Josephson Junction SQUID.YBCO.Nb/Al/AlO/SUB x/Nb Junction.Transfer Function. |
레이저 증착법으로 SrTiO/SUB 3/(100) 기판위에 In-Situ로 YBCO 박막을 성장시켰다. 박막은 결정질이었으며 C축으로 잘 정렬되어 전자소자용으로 적합하다. 산소의 확산계수를 조사하였고 (110) 기판위에 박막을 성장시키기도 했다. 이때 C축이 기판면과 평행하게 성장할 수 있었으나 초전도상으로 전이할때 C축의 수축이 심하여 Crack이 생성되었다. 소자제자은 SrTiO/SUB 3/(100) 기판을 사용하였는데 기판에 건식각법으로 Step의 각도와 높이를 조정하고 YBCO박막 두께를 적정화함으로서 죠셉슨 접합과 DC S
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