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[국가R&D연구보고서] 첨단계측기기 개발;사중극자 질량분석기 개발
Development of Advanced Scientific Instruments;Construction of a Quadrupole Mass Spectrometer 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 소헌영
참여연구자 김치엽 , 전병수 , 이상화
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1991-06
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO200200005542
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 사중극자.진공상자.parameter.기계적정밀도.이온원.Quadrupole mass filter.RF Generator.low current preamp.precision machining.

초록

사중극자 질량분서기 개발 2차년도 연구를 수행하였으며 설계제작된 2조의 사중극자를 진공상자 내에서 실험하여 사중극자 구성에 관련된 제반 parameter 값들을 측정하였다.
측정한 값들에 의해서 사중극자의 기계적인 정밀도 및 이온원과의 alignment를 분석하였으며 이들 자료를 바탕으로 3차년도 연구에 활용할 계획이다.

Abstract ▼

The Second year works for the development of a quadrupole mass spectrometer is described. A pair of home made quadrupole mass filter is tested in a vacuum chamber to ideatify the critical parameters in a construction of a mass fiter.
Machanical precision in alignmeats of electrods and ion source

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...8
  • 제 1 절 사중극자 질량분석기의 역사적 배경...8
  • 제 2 절 사중극자 질량분식기의 구조...9
  • 제 3 절 사중극자 질량분석기의 원리...19
  • 1. 고전적 접근방법...19
  • 2. 근사법에 의한 접근방법...23
  • 제 2 장 QMF의 설계 제작...29
  • 제 1 절 서론...29
  • 제 2 절 이온원 설계...30
  • 제 3 절 QMF의 설계 제작...31
  • 제 4 절 진공 System 및 Controller...37
  • 제 3 장 사중극자 전원장치 개발...43
  • 제 1 절 RF Generator 설계 및 제작...43
  • 제 2 절 RF Modulator...46
  • 제 3 절 Bias용 DC Power Supply...47
  • 제 4 장 Pre-amplifier 설계 및 제작...50
  • 제 1 절 회로설계 및 부품선정...50
  • 제 2 절 Noise 차단 설계...51
  • 제 5 장 국산화된 사중극자의 성능 실험...54
  • 제 1 절 PFTBA Spectra...54
  • 제 2 절 Spectrum의 분석...55
  • 제 6 장 결론...67

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