[보고서]극한기술 개발;RGA(Residual Gas Analyzer)시스템 개발

이충희

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[국가R&D연구보고서] 극한기술 개발;RGA(Residual Gas Analyzer)시스템 개발
Development of Advanced Technology;Development of RGA(Residual Gas Analyzer)System 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자	이충희
참여연구자	정기형 , 조용섭 , 오영국
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1992-09
주관부처	과학기술부
연구관리전문기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호	TRKO200200006367
DB 구축일자	2013-04-18

초록

- Prototype RGA 특성 분석
- Upgrade RGA 설계 및 제작
- PC에 의한 RGA시스템 제어 및 데이타의 전산처리
- PC제어용 인터페이스 제작
- on-line 제어시스템 제작
- 제어 및 신호처리 S/W 개발

목차 Contents

제1장 서론...9
제2장 인론적 고찰...11
제3장 RGA 장치 설계 및 제작...20
제4장 RGA 장치 특성 분석 및 표준화...69
제5장 결론...89
참고문헌...91

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