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[국가R&D연구보고서] PVD와 CVD에 의한 탄화물 분산 복합피막 경질화 특성비교와 제조기술 개발
Process Development and Establishment of Manufacturing Techniques of Composite Hard-phase Films by PVD and CVD 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 권식철
참여연구자 백운승 , 이상로 , 이건환 , 신현준 , 이규환 , 최인규 , 차수섭 , 이상렬
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1991-07
주관부처 과학기술부
과제관리전문기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO200200005956
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 화학증착법.물리증착법.기능성.박막.분산피막.CVD.PVD.Functional.Thin Film.Composile Film.

초록 ▼

화학증착법(CVD)와 물리증착법(PVD)을 이용하여 기능성 경질박막을 코팅하는 공정을 개발하고자 하였다. 기능성 경질박막은 Matrix로는 Ni, Cu, Al이 있고 경질특성을 부여하기 위해 TiC나 TiN 등의 세라믹 입자들이 분산되어 피복층을 형성하게 되는데 주로 내파문성은 경질입자들이 담당하므로 기능성과 내충격성은 Matrix 가 담당하게 된다. 대표적인 기능으로서 알루미늄은 내식성을 증가시키고 Cu는 전도성의 기능을 갖고 있으며 Ni은 내충격성의 기능을 담당하게 된다. 당해년도에는 1차년도로서 기능성 경질박막을 코팅하기 위한

목차 Contents

  • 제1장 서 론...14
  • 제2장 문헌고찰...15
  • 2-1 증발...15
  • 2-1-1 증착속도...16
  • 2-1-2 증발원...22
  • 2-1-3 합금의 증발...25
  • 2-1-4 특수한 증발장치...26
  • 2-2 화학증착법...29
  • 2-3 탄화물 분산 증착...32
  • 제3장 실험방법...36
  • 3-1 실험장치...36
  • 3-1-1 PVD법에 의한 증착장치...36
  • 3-1-2 CVD법에 의한 증착장치...41
  • 3-2 증착층의 분석장치...46
  • 3-2-1 증착층의 두께측정...46
  • 2-2-2 증착층의 결정구조...46
  • 2-2-3 증착층의 미소경도...49
  • 2-2-4 증착층의 밀착력...49
  • 2-2-5 증착층의 미세구조...50
  • 제4장 실험결과 및 고찰...51
  • 4-1 Ti/TiC계 증착층...51
  • 4-2 Ai/TiC계 증착층...59
  • 제5장 결 론...68
  • 제6장 참고문헌...69

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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