$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국가R&D연구보고서] Membrane Probe Card 제조 기술 개발
Development of manufacturing Process for Membrane Probe Card 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 장도연
참여연구자 한성호 , 노병호 , 김만 , 이종권 , 이규환 , 이상열 , 차수섭 , 박호일
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-03
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO200200006072
DB 구축일자 2013-04-18

초록

===정밀 에칭 및 도금을 위한 Photo-masking공정 개발. === Bump 성형을 위한 정밀 도금 기술 개발. === Membrane 상의 미세회로 형성을 위한 정밀 에칭 기술개발. === Membrane probe card용 양면 회로기관 설계 제작. === Bump의 정밀 접촉 기구 개발.

목차 Contents

  • 제1장 서론...16
  • 제2장 문헌조사...17
  • 제1절 Tungsten probe card...17
  • 1. 기능...17
  • 2. 종류...19
  • 3. 문제점...21
  • 제2절 Membrane probe card...22
  • 1. 원리...22
  • 2. 구조...22
  • 3. 성능...24
  • 4. 경제성...29
  • 제3장 연구내용...30
  • 제1절 제조공정도...30
  • 제2절 세부공정...32
  • 1. 적용 IC 선택...32
  • 2. Master film 제작...32
  • 3. Photo-masking...35
  • 4. Bump 도금...37
  • 5. Etching 작업...47
  • 6. Membrane Probe 제조...49
  • 7. PCB 기관 제조 및 평면조절판 및 탄성체...53
  • 8. Membrane probe card의 조립...58
  • 제4장 결과 및 향후 연구방향...60
  • 참고문헌...62

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 보고서

해당 보고서가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로