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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 천성순 |
참여연구자 | 김상호 , 김용천 , 조창현 , 황두섭 , 신중식 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-07 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200006298 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | MOCVD.고온초전도체.MOCVD.Superconductor.Film.YBaCuO.BiSrCaCu. |
MOCVD법을 이용하여 YBaCuO-계와 BiSrCaCuO-계 고온초전도 박막을 제작하였다. Y-계 고온초전도 박막 증착용 모재로는 SrTiO/sub 3/와 LaALO/sub 3/ 단결정 기판이 적합하였다. 위 두기판에서 모두 90K의 임계온도와 77K에서 10/sup 6/ A/㎠의 임계전류밀도를 얻을 수 있었다. Josephson 소자 개발을 위한 박막의 미세 형상화에 대한 연구결과 Plasma를 이용한 건식에칭법을 이용하여 좋은 결과를 얻을 수 있었다. 미세 Bridge의 폭이 50㎛를 넘는 경우는 습식에칭법도 사용가능하였으며,
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