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고온초전도 기술개발;고온초전도 박막을 이용한 조셉슨 소자 개발
Development of High Tc Superconductivity Technology;Development of High Tc Superconducting Josephson Junctions 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 박종철
참여연구자 박용기 , 이순걸 , 이규원 , 문대원 , 박근섭 , 이용호 , 권혁찬 , 허남희 , 김경중 , 황두섭 , 신동찬 , 김문석 , 이상길 , 천성순 , 조창현 , 신중식
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1993-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO200200006815
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 고온초전도 박막.YBCO.레이저 증착.Off-Axis Rf Sputtering.Ar Ion Milling.Step Edge 접합스퀴드.터널접합.Ramp Edge 접합 스퀴드.수동소자.High Tc Superconducting Thin Film.YBCO.Laser Wblation.Off-axis Rf Sputtering.Ar Ion Milling.Step Edge Junction SQUID.Ramp Edge Junction SQUID.Input Coil.Passine Device.

초록 ▼

Laser Ablation 방법으로 임계온도가 88∼99 K, 임계전류밀도가 77K에서 106 A/cm/sup2/인 양질의 YBa2CU3Ox 박막을 제작하였다. 소자 제작을 위해 YBCO,PrBa2CU307,SrTi03 및 CaRu03등의 다층박막도 제작하는 기술을 개발하였다. 또한 저압 산소하에서 Sputtering방법으로 YBCO 박막을 제작함으로써 기판 온도를 낮출 수 있었으며 최적 증착조건 등을 연구하였다. Step 이 만들어진 SrTi03기판위에 YBCO 단일층 박막을 증착하여 DC SQUID를 제작하였으며 77 K에서 S

목차 Contents

  • 제 1 장 개 괄...19
  • 제 1 절 서 설...19
  • 제 2 절 연구의 배경 및 필요성...23
  • 제 3 절 연구의 목표...27
  • 제 4 절 연구의 내용 및 범위...27
  • 제 5 절 연구결과 발표 및 특허...29
  • 제 2 장 박막제작...39
  • 제 1 절 Laser Ablation에 의한 YBCO 박막제작...39
  • 제 2 절 Laser Ablation에 의한 다층박막 제작...60
  • 제 3 절 낮은 산소분압에서 sputtering 방법에 의한 YBCO 박막의 in-situ 제작...70
  • 제 4 절 Ar ion milling 장치 제작...104
  • 제 5 절 결 론...107
  • 제 3 장 Step edge Junction SQUID 제작...110
  • 제 1 절 YBCO 단일층 step edge Junction SQUID 제작...110
  • 제 2 절 YBCO/CaRuO 이중박막을 이용한 step edge Junction SQUID...123
  • 제 3 절 결 론...138
  • 제 4 장 Edge Junction SQUID 및 input coil 제작...140
  • 제 1 절 YBa Cu O /PrBa Cu O /YBa Cu O /YBa Cu O ramp edge junction dc SQUID 제작...140
  • 제 2 절 Flux transformer 제작...167
  • 제 3 절 결 론...178
  • 제 5 장 고온초전도 박막의 수동소자에의 응용기술 개발...180
  • 제 1 절 서 론...180
  • 제 2 절 박막 중착 및 특성조사...182
  • 제 3 절 수동소자 설계 및 제작...187
  • 제 4 절 수동소자 동작 특성 측정...191
  • 제 5 절 결 론...199
  • 참고문헌...200

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참고문헌 (25)

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