초록 ▼

ㅇ 연구결과 1) 페로브스카이트형 산화물인 PZT 압전 세라믹스 제조에서 시편의 소결온도에 따른 PbO, TiO₂, ZrO₂의 상변화를 관찰한 결과 TiO₂는 실온에서부터 400℃까지 존재하고 ZrO₂와 PbO는 700℃까지 존재하고 있음을 XRD로 관찰할 수 있었다. 500℃에 다달았을 때 PbTiO₃ 피크가 보이기 시작하여 650℃까지 존재하였고 PZT는 650℃부터 생기기 시작하여 온도가 올라갈수록(1200℃까지) PZT의 결

ㅇ 연구결과 1) 페로브스카이트형 산화물인 PZT 압전 세라믹스 제조에서 시편의 소결온도에 따른 PbO, TiO₂, ZrO₂의 상변화를 관찰한 결과 TiO₂는 실온에서부터 400℃까지 존재하고 ZrO₂와 PbO는 700℃까지 존재하고 있음을 XRD로 관찰할 수 있었다. 500℃에 다달았을 때 PbTiO₃ 피크가 보이기 시작하여 650℃까지 존재하였고 PZT는 650℃부터 생기기 시작하여 온도가 올라갈수록(1200℃까지) PZT의 결정상은 좋아졌다. 2) SEM 사진으로 관찰하여 본 결과 소결 온도가 상승함에 따라 그레인 크기가 점점 증가함을 알 수 있다. 3) XRF에서는 시료를 전처리하지 않고 비파괴 분석으로 신속하고 정확히 분석하는 분말분석법을 개발하였다. 4) 방출분광 분석법에서는 PZT의 주성분인 PbO, ZrO₂, TiO₂을 동시에 분석할 수 있는 희석제로 Li₂B₄O₇과 graphite를 1:5로 시료를 50배 희석하여 분석하는 것이 제일 좋은 방법임을 알았다. 5) 절연체인 고분자물질의 표면을 XeF₂로 개질한 시료와 전처리하지 않은 시료를 ESCA, SIMS, RBS로 분석한 결과 개질되지 않은 표면에서는 탄소와 산소만 검출되었으나 표면을 개질한 시료에서는 탄소, 산소, 불소 및 규소가 검출되었다. 6) 수직분포 분석결과 PE의 경우 개질 전에는 C,O,Si의 순서로 분포되었으나 원소의 조성의 깊이에 따라 개질 후에는 C,F,O,Si의 순서로 변화하였다. 또한 주위 환경에 따른 화학적 결합 상태를 동시에 규명하였다.

목차 Contents

• A. 첨단 신소재의 분석 평가 기법 연구...19
• 제1장 서론...19
• 제2장 실험...23
• 제1절 X-선 회절 분석 및 구조 분석...25
• 제2절 X-선 형광 분석...29
• 제3절 방출 분광 분석...32
• 제4절 기타 분석법...36
• 제3장 결과 및 고찰...38
• 제1절 X-선 회절 분석 및 구조 분석...38
• 제2절 X-선 형광 분석...54
• 제3절 방출 분광 분석...60
• 제4절 기타 분석법...73
• 제5절 분석결과의 비교...74
• 제4장 결론...76
• B. 절연체 재료의 표면분석 평가기법 연구...77
• 제1장 서론...77
• 제2장 실험...80
• 제1절 시료준비...80
• 제2절 특성조사...82
• 제3장 결과 및 고찰...84
• 제1절 XPS에 의한 분석...84
• 제2절 RBS에 의한 분석...101
• 제3절 SIMS에 의한 분석...104
• 제4장 결론...106
• 참고문헌...107