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| 주관연구기관 | 한국원자력연구소 Korea Atomic Energy Research Institute |
|---|---|
| 연구책임자 | 최병호 |
| 참여연구자 | G.A.Eliseev , 문재호 , 윤수호 , 한전건 , 정기석 , 김완 , 송우섭 , 황철규 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 1994-12 |
| 주관부처 | 과학기술부 |
| 사업 관리 기관 | 한국원자력연구소 Korea Atomic Energy Research Institute |
| 등록번호 | TRKO200200007114 |
| DB 구축일자 | 2013-04-18 |
| 키워드 | 초고집적회로.반도체이온주입기.대전류이온주입.산소이온주입.고에너지이온주입.MLB용PCB드릴Bit.현장적용시험.이온빔-코팅복합공정.ion implantation.semiconductor ion implanter.metal ion source.magnetic field scanning.target opertion.surface treatment.mixed ion beam processing.tools and dies. |
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